WLW真空泵 2X旋片真空泵 W型往复泵 ZJ型罗茨泵 JZJS型真空机组 JSJX型真空机组 2XZ型真空泵 2SK型 SK型真空泵 SZ型真空泵 2S型真空泵 JZJWLW系列真空机组
真空单位换算
|
帕
Pa |
托
Torr |
微米汞柱
μmHg |
毫巴
mbar |
大气压
atm |
工程大气压
am |
1 Pa
|
1
|
7.5
×10-3 |
7.5
|
10-2
|
9.86923 |
1.0197
×105 |
1 Torr
|
133.32
|
1
|
103
|
1.3332
|
1.31579
×10-3 |
1.3595
×10-3 |
1 μmHg
|
0.13332
|
10-3
|
1
|
1.3332
×10-3 |
1.31579
×10-6 |
1.3595
×10-6 |
1 mbar
|
102
|
7.5 |
7.5
×102 |
1
|
9.86923
×10-4 |
1.0197
×10-3 |
饱和水蒸汽的压力与温度的关系 ( 摘自 范仲元: "水和水蒸气热力性质图表" p4~10 )
|
真空计算常用公式 1、玻义尔定律体积V,压强P,P·V=常数(一定质量的气体,当温度不变时,气体的压强与气体的体积成反比。即P1/P2=V2/V1)2、盖·吕萨克定律当压强P不变时,一定质量的气体,其体积V与绝对温度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常数)当压强不变时,一定质量的气体,温度每升高(或P降低)1℃,则它的体积比原来增加(或缩小)1/273。3、查理定律当气体的体积V保持不变,一定质量的气体,压强P与其他绝对温度T成正比,即:P1/P2=T1/T2在一定的体积下,一定质量的气体,温度每升高(或降低)1℃,它的压强比原来增加(或减少)1/273。4、平均自由程:λ=(5×10-3)/P (cm)5、抽速:S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/PQ=流量(托·升/秒) P=压强(托) V=体积(升) t=时间(秒)6、通导: C=Q/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽气时间:对于从大气压到1托抽气时间计算式: t=8V/S (经验公式)(V为体积,S为抽气速率,通常t在5~10分钟内选择。)8、维持泵选择:S维=S前/109、扩散泵抽速估算:S=3D2 (D=直径cm)10、罗茨泵的前级抽速:S=(0.1~0.2)S罗 (l/s)11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏-系统漏率(mmHg·l/s) V-系统容积(l)P1-真空泵停止时系统中压强(mmHg)P2-真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)t-压强从P1升到P2经过的时间(s)12、粗抽泵的抽速选择:S=Q1/P预 (l/s)S=2.3V·lg(Pa/P预)/tS-机械泵有效抽速 Q1-真空系统漏气率(托·升/秒)P预-需要达到的预真空度(托) V-真空系统容积(升)t-达到P预时所需要的时间 Pa-大气压值(托)13、前级泵抽速选择:排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值,选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走,根据管路中,各截面流量恒等的原则有:PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/PnSg-前级泵的有效抽速(l/s) Pn-主泵临界前级压强(最大排气压强)(l/s)Pg-真空室最高工作压强(托) S-主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)14、扩散泵抽速计算公式:S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被试泵的抽气速率(l/s) n-滴管内油柱上升格数(格)t-油柱上升n格所需要的时间(秒) P-在泵口附近测得的压强(托)K-滴管系数(托·升/秒) K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0-滴管和真空胶管的原始容积(升) L-滴管刻度部分的长度(mm)n-滴管刻度部分的格数(格) Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3) Pa-当地大气压强(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的对应的容积(升/格)15、旋片真空泵的几何抽速计算公式:S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)式中:Z为旋片数,n为转速(转/分),L为泵腔长度,D为泵腔直径,d为转子直径(cm),Kv为容积利用系数(一般取95%)。16、O型橡胶槽深B=0.7DD为橡胶直径,槽宽C=1.6B17、方形橡胶槽深B=0.8AA为方形橡胶边长,槽宽C=1.67B 选用真空泵时,需要注意下列事项:1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。 3、真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 水环式真空泵的选择 一、泵类型的确定 泵工作时,需要注意以下两个方面:
根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。 如果只作真空泵用,则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单,容易制造和维护,且在高真空情况下抗汽蚀性好。 二、根据系统所需的气量选择真空泵 初步选定了泵的类型之后,对于真空泵,还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。
|
江苏海门新东真空版权所有
地址:海门市富民路
联系电话:13306283108,0513-2069970